10月27日，在位于日照高新区的山东兴华半导体有限责任公司（以下简称“兴华半导体”）晶圆生产车间内，氧化、光刻、刻蚀、离子注入等各条生产线运行有条不紊。
“生产车间正处于产能提升阶段，目前晶圆月产量达2万片，出片率和单片良率均处于行业领先水平。”兴华半导体总经理颜烈艺说。晶圆制造是整个芯片产业链的关键一环，兴华半导体主要致力于晶圆制造、芯片研发和生产，预计今年产值可达5560万元。
作为光子学与电子学的交集领域，近年来，光电产业开启高速增长模式。2022年，中国光电产业市场规模约3000亿元，预计到2025年将达到3500亿元。随着数字化技术在各行各业迅猛发展，山东各地的光电产业也乘势而上，信息光电、激光加工、激光全息、开元体育光电传感等产业技术日益成熟，多地加快建设产业园区，以集群之势推动产业高质量发展。
10月27日，在位于枣庄的东方光源集团智光通信产业园三期项目现场，鳞次栉比的厂房在秋日阳光下格外耀眼。生产车间内，工人们正忙着调试各种生产设备。“接下来进行生产工艺调试，预计年底投产。”华光科技光芯棒生产基地总经理王樯说。总投资30亿元的智光通信产业园项目分三期建设，三期项目主产智能光网络用特种光缆及光芯棒。
光纤是信息产业的重要传输载体，而光纤90%以上的性能由光纤预制棒决定。东方光源集团作为枣庄通信产业的领军企业，拥有光纤、光缆产业制造基地，但在产业链上游光纤预制棒制造环节上一直存在缺失。为弥补这一短板，东方光源集团采用具有自主知识产权的新型工艺，与通鼎互联信息股份有限公司合作建设华光科技光芯棒项目，可实现年产光芯棒400吨。
“产业园建成后，东方光源将成为集光纤预制棒、光纤、光缆等相关产品研发、生产为一体的全产业链企业。”东方光源集团董事长张坤说，三期项目中的特种光缆产品为5G量身定制，广泛应用于通信、航天、化工、石油等领域。
当前，枣庄高新区把光电产业作为园区“锂光医智大”产业集群的重要组成部分，产品类型从传统的石英光纤光缆、光通信器件逐步扩展到光通信、光显示、光存储等领域，“纤芯网屏端”光电信息产业链不断补强，线缆全产业链示范效应、光电特色产业集群式发展已初步形成。目前，全区现有规模以上光电类工业企业8家，1—8月光电产业链营收10.24亿元，同比增长45.54%。
光电产业作为现代产业体系的“关键少数”，是新一轮科技革命的必争之域。位于淄博高新区齐鲁智能微系统创新产业基地的山东申华光学科技有限公司，专注于铌酸锂薄膜技术及其潜在的集成光子学系统的创新研发。“传统的体材料铌酸锂晶体光学器件往往尺寸比较大，难以满足光学器件趋于小型化、集成化的需求。我们通过‘离子切片’的方式，从块状的铌酸锂晶体上剥离出铌酸锂薄膜，并键合到附有二氧化硅缓冲层的硅晶片上，形成薄膜铌酸锂材料。”公司总经理李志华拿起一个小小的芯片向记者展示。
山东申华光学科技有限公司主要从事光学元器件的设计、研发和生产。“薄膜铌酸锂制备原先存在晶体损伤、粗糙度大、以及成本高等痛点，我们的CMP（化学机械抛光）法不仅可以使晶体不受损伤，降低薄膜表面粗糙度，而且工艺简单，有效降低了制备成本。”目前，该公司已成功实现纳米级厚度薄膜铌酸锂CMP法直接制备。
今年以来，淄博市光电子产业链“四上”企业营业收入同比增长32.8%，已形成以光通信为标志，涵盖光学晶体、新型显示、智能终端、集成电路等多领域的特色产业。目前，淄博高新区正展开细分产业链重点企业调研，结合光电子产业链上中下游发展实际，梳理出一批具有较强系统集成能力、较高市场占有份额、重要产业拉动作用的企业作为链主企业，支持链主企业做优做大，将光电子产业链的招商重点向微波通信、光纤传感等领域倾斜，聚力打造光电子产业发展高地。
作为山东省推动智能传感器产业发展行动计划两大重点建设项目之一的烟台光电传感产业园，同样聚焦壮大产业链。
该园区以全国首批、全省首家科创板上市企业睿创微纳为龙头，建设光电传感全产业链创新孵化园区，重点培育聚集红外传感器、器件、模组、终端整机等光电产业上下游企业和项目。据介绍，未来五年，产业园将聚集上下游企业150家以上，十年达到400家以上，年产值突破700亿元。
（大众日报记者 杨淑栋 孟令洋 栗晟皓 从春龙 报道 通讯员 王敏敏 赵健健 参与采写）
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